熱門關(guān)鍵詞: 鋁框板式過濾器 初效過濾器阻力 中效過濾器清洗 高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn) 高效過濾器特點(diǎn)
科學(xué)技術(shù)的發(fā)展很快,高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn),尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異,像集成電路的發(fā)展兩三年就更新一代。IC芯片的發(fā)展遵循“摩爾定律”(Intel 公司創(chuàng)始人之一 Gordon E.Moore 1965 年預(yù)言),芯片上可容納的晶體管數(shù)目(即集成度)每18個(gè)月便可增加1倍。10年(2000年 -2010 年)間我國 IC的主流技術(shù)由 5 英寸、6英寸、0.5 μm 以上工藝水平提升到8 英寸 0.18μm~0.25 μm,12 英寸、110 nm~90 nm~65 nm。表征工藝水平的最小線寬(即特征尺寸 f e a tu r es i z e ),目前已進(jìn)入納米(n m )級(jí),“中芯國際”32/28nm 已取得關(guān)鍵技術(shù)突破,將在“十二五”中期進(jìn)入量產(chǎn)。TFT-LCD 的發(fā)展速度更快,一二年就上一個(gè)臺(tái)階:北京京東方TFT-LCD薄膜體管液晶顯示器5代線(基板尺寸1100 mm×1300mm)剛投產(chǎn),即開始建設(shè)合肥京東方 6 代線(基板尺寸1500 mm × 1850 mm);不到 2 年又開始北京京東方8.5 代線(基板尺寸 2200 mm × 2500mm)的建設(shè)。目前中電熊貓正規(guī)劃 TFT-LCD 10代線(基板尺寸 2889 mm × 3130 mm)的建設(shè)。這就要求為其服務(wù)的高級(jí)別的潔凈室必須能適應(yīng)其發(fā)展速度,有極好的靈活性和適應(yīng)性,以滿足微電子、光電子等生產(chǎn)工藝不斷發(fā)展進(jìn)步的要求。建造一個(gè)潔凈廠房投入成本高,使用時(shí)間長,不是一二年就會(huì)拆掉重建。因此,在潔凈室設(shè)計(jì)與建造時(shí)必須考慮到生產(chǎn)工藝流程的不斷發(fā)展和變化,使?jié)崈羰揖邆涓玫倪m應(yīng)性和靈活性。對(duì)于潔凈室工程行業(yè)來說,在施工過程中,或者是在潔凈室使用過程中,都會(huì)因?yàn)樯a(chǎn)工藝流程的改變引起的氣流組織、設(shè)備容量等方面的變化而導(dǎo)致設(shè)計(jì)的改變,而這種變更需要在前期設(shè)計(jì)時(shí)預(yù)留好變更的空間,否則將會(huì)為后期的改變埋下隱患。
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