電子廠凈化車間的設計和設備介紹

不同級別電子廠電子廠凈化車間的半導體、微電子、光電技術、光學儀器、PCB、食品、

模具等工程。按行業標準要求，凈化級別從 10-30 萬級。

一、凈化車間 結構材料 ：

1.電子廠凈化車間墻、頂板材料一般采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型

材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2.地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

1、工業廠房潔凈工程、電子廠房潔凈工程、化妝品廠房凈化工程、光纖通訊廠房潔凈工程、

絲印廠房潔凈工程、網印廠房潔凈工程；

2、GMP 廠房凈化工程、藥廠潔凈工程、食品廠潔凈工程、飲用水廠罐裝車間潔凈工程； 3、

實驗室工程、無菌實驗室、生物實驗室、實驗室凈化工程整體規劃設計和施工； 4、承攬中

央空調、凈化領域工程設備的安裝、調試及維修、保養； 5、廠房、車間、實驗室空調潔凈

工程、無塵室工程、無塵室改造工程； 6、工業廠房內部隔墻工程、吊頂工程、地面工程、

其他零散工程等。

單向流電子廠電子廠凈化車間（1-100 級）

1-100 級的電子廠凈化車間，均采用單向流的氣流組織送風方式，即電子廠電子廠凈化車間

內的氣流在同一截面的任意一點，氣流的方向和速度均保持一致，這樣可以使

清潔空氣象“活塞”一樣，將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走。

要實現“活塞”的效果，高效過濾器需要布滿屋頂才可實現單向流的氣流組織方式。

非單向流電子廠凈化車間（1000-10 萬級）

1000-10 萬級電子廠凈化車間的氣流組織方向和 100 級以上的電子廠電子廠凈化車間不同，

室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動的，伴有回流或渦流，它主要靠潔凈的氣流不斷

稀釋室內空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現凈化。不同的凈化等級，主要是依靠單位時

間內所送風量的不同來實現的。

1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用 50mm 厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓

弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造 。

2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型 PF 發泡塑膠板。

4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔

二、 設計施工安裝準備有哪些？

1. 收集與生產工藝相關的數據和資料

室內溫濕度的基數和精度，需要與工藝設計人員反復確定并定下合理的參數，不要一味追求

高標準，因為基數和精度對投資和運行費用有極大的影響，但滿足工藝的基本要求是必要

的。

2. 收集工程所在地的氣象資料和周圍環境的資料

(1)室外設計參數除一年四季的氣象資料外，還需要收集當地的環境，如：含塵濃度和會影

響產品和生產工藝的各種氣體的濃度。

(2)工程周圍鐵路、碼頭、飛機場等交通樞紐和交通要道的距離。工程周圍的工廠。倉庫。

堆場，最好遠離這些場所，如無法遠離，要采取相應的措施，如：新風入口加裝過濾器級別

根據測得的數據來定，還要考慮是否有必要加裝化學過濾器。

(3)收集生產過程中會產生的廢熱和有毒有害的廢氣的相關資料

a. 確定廢熱氣體的溫度和排風的量

b.有毒有害氣體的濃度、溫度和危害程度及排風的風量，并要考慮處理的對策。

(4)收集生產工藝對電、水和特種氣體、大宗氣體的要求

(5)收集工程建筑、結構和工藝設計的平剖面圖

a. 工藝設計，電子廠凈化車間裝修用于的工藝種類繁多，但是，總的原則是生產工藝設備

的安裝和維修，生產工藝的流程，操作程序，人員流動路線和物料傳輸布置時，應避免發生

氣流干擾和交叉污染的發生。

b.在滿足生產工藝和微震的控制，噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度要求高的電子廠電

子廠凈化車間裝修(區)宜靠近空調機房布置，空氣潔凈度等級相同的工序或工作(區)宜集中

布置。

c.應根據工藝設計要求設置運輸、安裝、維修的通道或檢修門。

d.人員出入電子廠凈化車間裝修應該設置人員凈化裝置。

純臻凈化工程

e.物料，設備出入電子廠凈化車間裝修要設置凈化設施，設置氣閘室或傳遞窗。

f.潔凈區域內設置真空泵時，應有除油裝置，尾氣排放應接至室外，傳輸有可燃氣體的系統，

其濃度超過爆炸下限 20%時應有尾氣處理裝置，應去除或稀釋可燃氣體的成份，傳輸易燃自

燃化學品或高濃度氧氣時，應采用不燃的泵油，并配置氮氣吹掃控制閥，并且與工藝

設備的操作系統聯鎖。

三、 一般 電子廠 電子廠凈化車間基本工作原理及凈化參數

凈化原理 氣流→初效空氣處理→空調→中效空氣處理→風機送風→凈化管道→高效送風口

→電子廠電子廠凈化車間→帶走塵埃（細菌） → 回風夾道→新風、初效空氣處理。重復以

上過程，即可達到凈化目的。技術參數換氣次數：十萬級 10－15 次/小時；萬級 15－25 次/

小時；千級 50－52 次/小時;百級操作臺斷面風速 0.25-0.35m/s。

凈化參數

換氣次數：100000 級≥15 次；10000 級≥20 次；1000≥30 次。

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速：10 級、100 級 0.3－0.5m/s；

溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。

溫度 45－65％；GMP 粉劑車間濕度在 50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的 10％－30％；照度 300LX

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa。

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；

相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風補充量：總送風量的 20％－30％；

照度：≥300Lux。

電子廠凈化車間目 裝修施工項目  ：

1、隔墻板：包括窗戶、門,材料是彩鋼板，但彩鋼板的夾芯有很多種。

2、天花吊頂：包括吊桿、綱梁、天花板格子梁，材料一般是：彩鋼板與無塵板。

3、照明器具：采用無塵專用燈具。

4、電子廠凈化車間制作主要包括天花吊頂、空調系統、隔斷、地面、以及照明燈具。

純臻凈化工程

5、地板：高架地板或防靜電 PVC 地板或環氧樹脂地板。

6、空調系統：包括主機、風管、過濾器系統、FFU 等。

四 、 電子廠凈化車間 結構設計概況與凈化要求

電子廠凈化車間是生產 VCD 和 DVD 電子元件的關鍵部分,在建筑平面上被安排在廠房的

中間(如圖 1)。廠房為鋼結構,生產車間為單層建筑,辦公部分為兩層建筑,電子廠凈化車間

的吊頂高度為 3.3m,層高為 811m。電子廠凈化車間吊頂與屋面之間,敷設送風管、回風管、

排風管等多種工藝管道和高效過濾器,吊頂由內夾聚氨脂塑料泡沫層的夾心彩鋼板組裝而成,

上人吊頂與墻面之間的縫隙用密封膠填密,地面到吊頂采用埃特板構成回風井道,并和回風

管連接。第 1、第 2 車間面積各為 2160m2 工作人員各為 400 人,第 3 車間面積 1080m2,200

人;各車間,檢測室,衛生室和吹淋通道的溫度要求為 23℃±2℃,濕度 60%±10%,室內正壓大

于 10Pa,吹淋通道凈化級別為 100 級,其余為 10 萬級。

凈化空調系統的設計：

該廠的電子廠凈化車間,最大單間面積 2160m2,空間大,風量大,相鄰空調機房的噪聲處理困

難以及吊頂內的管線多,為此凈化空調分設三個獨立的系統。

每個凈化系統均設初效、中效、高效過濾器。初效過濾器安裝在新風管上,中效過濾器安裝

在空調柜內,高效過濾器安裝在吊頂上 G———室內發塵量,粒/(m3 ?min) M———大氣含塵

濃度,粒/Ln———換氣次數,次/hS———回風量和全風量的比ηn———新風通路上過濾器

總效率ηr———回風通路上過濾器總效率電子廠電子廠凈化車間新風量的確定,主要從三

個方面考慮;第一、室內工作人員所需的新風量,每人按 40m3/h 考慮。第二、車間內的排氣

量。第三、保持正壓時的門窗縫隙的漏風量。本工程選擇新風量占全風量的 12%至 15%。正

壓采用余壓閥控制。各車間的送風、排風、新風的參數。

空氣處理：

為了滿足各車間的潔凈要求,設計中把電子廠凈化車間分成三個系統;第一、第二車間各設一

個系統,第三車間、實驗室、檢測室、衛生室為一個系統?？諝馓幚頇C由回風段、致冷段、

加熱段、加濕段、混合段、風機段、中效段、送風段組成

消聲處理：

在空調設計中噪聲是一個很重要的問題,對于大面積的電子廠凈化車間,它的送風量比一般

的空調系統要大得多,且送風的風壓也高達 116kPa,因此通風機的電機容量也比較大,達

90kPa,通風機的聲功級為 115dB。消聲技術在本工程中尤為突出。通過減噪計算,配置相應

的消聲器和消聲小室,可達到規范所要求的室內噪聲標準。工程實踐證明,凈化工程的消聲處

理不一定要用價格昂貴的微穿孔板消聲器;在設計中計算出各倍頻中心頻率的噪聲量后,針

對其超標的頻率噪聲,采用廉價的不銹鋼板網和中效無紡布、多孔材料制作出消聲器,同樣能

達到消聲的目的,節約工程投資。另外,高效過濾器和中效過濾器本身也是一種很好的消聲器,

在設計計算中應考慮它們的消聲量。

五、電子廠凈化車間的地面通常采用哪些材料

電子廠凈化車間地面通常用 PVC 防靜電地板、環氧樹脂地坪漆比較多。電子廠凈化車間地面

常用材料：

01 工程名稱:PVC 地板

產品特點:

1、耐磨、耐腐蝕，性能穩定

2、裝飾效果好，施工方便

3, 基材為半硬質的 PVC 塑料

4、不產生火花和阻燃

施工工藝:

1,清理地面，清除浮沉，定位鋪設基準線

2、鋪拉接地倒網(銅箔)，涂刷導電膠

純臻凈化工程

3. 鋪貼 PVC 地板，滾壓 PVC 地板

4、開 4mm 靜電接地

適用場所:電子廠，半導體廠，光電產業，包裝品，機電房.汽車工業等

02 防靜電 PVC 地板

產品特點:

直鋪式 PVC 防靜電地板十分柔韌，結構均一，由表面涂有特殊導電液體 的彩 色聚氯 乙烯

PVC 片組成，并經過靜態壓擠制成堅實的 PVC 塊永久導電，表面低靜電壓，不吸附塵埃，規

格統一，圖案精美，顏色持久。

施工工藝:

1、基面處理。

2、漫刮自流平水泥找平。

3、涂刷導電底膠口

4、鋪設銅箔。

5、貼 PVC 板。

7、焊接口

8、表面清潔口

適用場所:適用于電信、電子電力、微電子、醫學等行業的程控機房、計算機房、電

力調度室、電子廠凈化車間等要求凈化及防靜電的場所。

03 工程名稱:高架地板

產品特點:

1、具有系統防靜電能力

2、優質的防火.防潮性能

3、承載力

4、抗污性佳

施工工藝:

1、在清潔的地面上劃線

2、支架橫梁裝配

3, 調整橫梁水平、緊固螺釘

4, 鋪設活動地板

5. 施工完畢后清掃地板表面

適用場所:電子廠，半導體廠，光電產業，機電房.恒溫恒室實驗室，百級電子廠電子廠凈化

車間等

04 工程名稱:環氧樹脂自流平型地流

產品特點:

1、耐磨、防滑、防菌、防霉

2, 耐溶劑、耐酸堿性好

3、性能好、杭展性強

4、無縫、平滑美觀甲易清洗保養

施工工藝:

1、打磨地面.清掃、吸塵

2、涂刷封閉底涂

3、刮膩子(中涂)

4、打磨、吸塵

5、自流平面

適用場所:電子廠，電器廠，食品廠，，化妝品廠，包裝廠，紡織廠，服裝廠等

昆山昌瑞空調凈化技術有限公司，專注從事空氣過濾器系列產品（初/中/高效、化學過濾器等）、潔凈室凈化設備（拋棄式/可更換式/自動卷繞式過濾器、高效送風口、FFU高效過濾器凈化機組）的研發、生產、銷售和售后。