潔凈室，不論外界空氣條件如何變化，潔凈室內(nèi)均能維持原設(shè)定的潔凈度、溫度及壓力等性能，以滿足使用需求。潔凈室行業(yè)的發(fā)展有5個階段，每個階段的發(fā)展和進(jìn)步都源于制造業(yè)技術(shù)升級帶來的對生產(chǎn)環(huán)境要求的提高。
現(xiàn)代潔凈室的誕生起源于戰(zhàn)爭時期的軍事工業(yè)。1950年代，朝鮮戰(zhàn)爭時期，美國軍隊在戰(zhàn)爭中發(fā)現(xiàn)大量電子儀器出故障，有超過80%的雷達(dá)失效，接近50%的水聲測位儀失效，陸軍中70%的電子設(shè)備失效，并且每年的維護(hù)費用超出原價的2倍，原因在于零部件可靠性差，質(zhì)量不穩(wěn)定。最終，美軍找到了主要的原因是灰塵作怪，工廠生產(chǎn)環(huán)境不清潔，導(dǎo)致生產(chǎn)出來的零部件合格率低，盡管當(dāng)時采取非常嚴(yán)密的措施來封閉生產(chǎn)車間，但是收效甚微，后來將高效空氣過濾器應(yīng)用于生產(chǎn)車間后，才解決問題，這也是現(xiàn)代潔凈室的誕生。
潔凈室行業(yè)的發(fā)展有5個階段：
第一階段是1950年代美國軍工的需要；
第二階段是蘇聯(lián)和美國航天事業(yè)，特別是登月工程中精密機器加工和電子儀器的發(fā)展，出現(xiàn)了層流技術(shù)和百級潔凈室；
第三階段是1970年代集成電路開始進(jìn)入發(fā)展期，使得潔凈技術(shù)得以騰飛；
第四階段是1980年代大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展帶來對潔凈室要求的進(jìn)一步提高；
第五階段則是從1990年代開始到現(xiàn)在，半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展，生產(chǎn)線精度的進(jìn)一步提高，對生產(chǎn)空間的潔凈度提出新的要求，同時，傳統(tǒng)領(lǐng)域如醫(yī)療制藥、精密儀器等、食品工業(yè)等對潔凈技術(shù)的要求也逐步提高。
潔凈度的標(biāo)準(zhǔn)按照國際標(biāo)準(zhǔn)ISO146441空氣潔凈度等級劃分，以每立方米空氣中含有的特定直徑的微粒數(shù)目來劃分潔凈室級別。
對于潔凈度我們可以做個直觀的類比，按照上限計算，ISO1級表示1立方米空氣中直徑0.1um粒子數(shù)量為10個，粒子占空間比例為5.23*10^-21，可查太平洋的面積為16500萬km^3，平均深度為4282米，體積為70700km^3，如果用太平洋的體積與ISO1級標(biāo)準(zhǔn)的潔凈程度換算，那么平均每個粒子的體積為370毫升，相當(dāng)于一條魚的體積，即ISO1級潔凈標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)于整個太平洋不超過10條魚。
我國自從潔凈室工程出現(xiàn)之后，頒布了一系列潔凈室工程規(guī)范性文件，對于潔凈室的指標(biāo)要求、工程規(guī)范、施工要點、材料使用等都做了詳細(xì)的說明和指導(dǎo)。其中《潔凈室廠房設(shè)計規(guī)范》是總括性規(guī)范文件，《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》，《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》，《醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范》分別對電子行業(yè)、醫(yī)藥行業(yè)、手術(shù)室做了更加細(xì)致的指導(dǎo)。
昆山
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