FFU具有特點:
第一:要具有靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受地域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可以根據需要,分區控制。而且,伴隨著半導體生產工藝的變化,廠房的布局必須要做出相應的調整,它的靈活性使這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資;
第二:可再利用性。理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆卸下來,密封好,妥善保管,留到下次再使用;
第三:負壓通風。這是FFU設備特殊的特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房而言是負壓的。因此,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡單又安全;
第四:縮短建設周期。使用設備省掉了風管的制作以及安裝,因為風管在潔凈工程中,已經占掉了很大的建設周期;
第五:減少運行的成本。雖然在選用FFU設備時,初期的投資要比使用風管通風還要高,但在后期運行中,完全可以突出的表現出節能、免維護等優點。
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